高真空仪器，用于超高分辨率电磁波，分辨率高达20万及以上 用于高分辨率分析的超细粒径 用于贵金属和/或氧化金属的溅射涂层机。CR目标作为标准提供。 快速循环时间以实现最大样品通量 倾斜级设计实现复杂三维结构的均匀涂层 薄膜厚度监测仪（FTM）用于控制涂层沉积 直观且响应灵敏的触摸屏彩色面板设计 多色LED视觉状态指示器提供流程更新 标准协议预设配方，实现样本可重复性 可定制的配方，适用于定制应用 简便快捷的配置文件设置 根据应用需求提供多阶段选项